HORIBA堀場光纖型化學(xué)藥液濃度計CS-600F說明書

發(fā)布時間：2025/2/13

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光纖型化學(xué)藥液濃度計

　　CS-600F

　　CS-600F 提供適合生產(chǎn)的更高級功能，如在各種應(yīng)用中對高溫化學(xué)藥液進行在線測量的能力，減少停機時間的穩(wěn)定運行，以及提高空間生產(chǎn)率的緊湊尺寸，以滿足先進半導(dǎo)體濕法制程所需的準確化學(xué)藥液濃度管理。

　　概要配置下載中心

　　尺寸更小，布局更靈活

　　CS-600F 濃度計尺寸緊湊，與成熟型號(CS-100F1 系列)相比，高度降低 36%，體積減少 40%，樣品單元光纖電纜所需的空間減少 46%。

　　光源單元和濃度計主機可以遠程單獨安裝，支持根據(jù)化學(xué)藥液單元和清洗設(shè)備的位置靈活安裝。

　　高溫化學(xué)溶液(20 至 80℃)的高穩(wěn)定性在線測量

　　新的光學(xué)系統(tǒng)和改進的處理算法支持在線測量高溫化學(xué)藥液，這是先進濕法制程的關(guān)鍵一步。這消除了冷卻化學(xué)樣品的需要。HORIBA 的 CS-600F 穩(wěn)定性高，實現(xiàn)了更有效和準確的化學(xué)藥液管理。

　　背景校正頻率顯著降低

　　與成熟型號(CS-100F1系列)相比，定期校正頻率顯著降低，這反過來又顯著減少了機臺停機時間，有助于提高產(chǎn)量。

　　單臺濃度計可測量多達六種化學(xué)藥液(藥液種類或濃度范圍)

　　單臺濃度計可測量多達六種化學(xué)藥液(藥液種類或濃度范圍)?？勺杂纱_定藥液類型和濃度范圍，CS-600F 保證滿足各種檢測要求。

　　可輸出多達六種組分的測量值(串行輸出)

　　成熟型號(CS-100F1 系列)可輸出四種組分的測量值(串行輸出)。CS-600F新型號能以串行輸出方式輸出多達六種組分的測量值。CS-600F型號模擬輸出四種組分，而CS-100F1型號為兩種。

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